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拉晶工藝的相關知識

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:85876 | 大。170.50KB | 下載:5116 次 | 上傳:2013-03-22

簡介:

一、與雜質(zhì)有關的幾個概念 二、摻雜劑的選擇 三、根據(jù)雜質(zhì)在晶體中的擴散系數(shù)選擇 四、常用摻雜劑 五、摻雜量的計算(輕摻雜時) 六、縱向電阻率均勻性的控制 七、徑向電阻率均勻性的控制 八、生長層定義 九、直拉法工藝中消除旋轉性條紋 十、消除一般性雜質(zhì)條紋的辦法 十一、強磁場中拉單晶(MCZ)的改進作用

[展開]
 

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