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評述上排氣技術在硅單晶拉制工藝中的應用

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:85617 | 大。40.00KB | 下載:4674 次 | 上傳:2013-03-24

簡介:

熱場的結構設計對單晶的品質影響很大,而熱場的排氣同樣很重要。通常國內使用最多的是下排氣,上排氣技術的使用還不常見。

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