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硅片清洗的操作方法

硅片清洗的操作方法

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級(jí)別:| 積分:60 分 | 瀏覽:81665 | 大小:70.05KB | 下載:4481 次 | 上傳:2013-09-16

簡(jiǎn)介:

由以上實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)分析, 在清洗劑濃度較低時(shí),不能達(dá)到良好的清洗效果, 切割過程中吸附到Si片表面的砂漿等沾污依然停留在 S i 片表面。

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