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硅片切割中的切斜技術(shù)

硅片切割中的切斜技術(shù)

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級(jí)別:| 積分:0 分 | 瀏覽:80474 | 大小:18.50KB | 下載:4449 次 | 上傳:2013-10-18

簡介:

在硅片切割過程中,經(jīng)常出現(xiàn)切斜的現(xiàn)象,大大影響硅片合格率。硅片切斜的原因多種多樣,本文通過從鋼線、導(dǎo)輪、砂漿等不同的方面進(jìn)行切斜分析。

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