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薄膜制備新技術及其應用研究

薄膜制備新技術及其應用研究

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級別:| 積分:60 分 | 瀏覽:85492 | 大。328.79KB | 下載:5992 次 | 上傳:2013-03-22

簡介:

綜述了近幾年國內(nèi)外在薄膜制備技術方面的研究進展,著重比較了蒸發(fā)沉積、濺射沉積、激光沉積、CVD、MBE和Sol2Gel 等技術的優(yōu)缺點,分析了這些技術在薄膜制備中應用前景。

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