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半導(dǎo)體廢氣處理技術(shù)實踐

半導(dǎo)體廢氣處理技術(shù)實踐

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:80463 | 大。19.00KB | 下載:4444 次 | 上傳:2013-10-28

簡介:

依據(jù)這些廢氣的特性 ,在處理上采用水洗 、氧化/燃燒、吸附、解離、冷凝等方法。在半導(dǎo)體制造廠 ,依照系統(tǒng)廢氣排放可分為:一般排氣(GEX)、酸性排氣 (SEX)、堿性排氣 (AEX)和有機(jī)排氣 (VEX)。針對不 同污染 物,可采取 以下綜合處理方法。

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