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磷吸雜工藝研究

磷吸雜工藝研究

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:80415 | 大小:120.50KB | 下載:4450 次 | 上傳:2013-10-14

簡介:

磷吸雜在晶體管芯片制造過程中對改善芯片表面態(tài)、減少漏電流等起著重要作用。文中確定了方塊電阻為6-8Ω/□(歐姆/方塊)的磷吸雜工藝條件,并對過程的相關(guān)影響因素進(jìn)行分析和探討,同時提出了解決方法。

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