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MOCVD技術在光電薄膜中的應用

MOCVD技術在光電薄膜中的應用

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:80771 | 大。22.50KB | 下載:4466 次 | 上傳:2013-09-29

簡介:

MOCVD技術在半導體材料和器件及薄膜制備方面取得了巨大的成功。盡管如此,MOCVD仍是一種發(fā)展中的半導體超精細加工技術,MOCVD技術的進一步發(fā)展將會給微電子技術和光電子技術帶來更廣闊的前景。

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